特点:本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。
主要技术参数
表面微观不平深度测量范围
在连续表面上,相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时:1000 一1nm
相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时:130 一1nm
测量的重复性:δRa ≤0.5nm
物镜倍率:40X
数值孔径:Φ 65
工作距离:
仪器视场 目视: Φ
摄象(计算机屏幕观察)一2500×
接收器测量列阵:1000X1000
象素尺寸:5.2×5.2µm
测量时间采样(扫描)时间:1S
仪器标准镜 反射率(高): ~50 %
反射率(低): ~4 %
照明光源:白炽灯6V 5W
绿色干涉滤光片波长:λ≒530nm
半宽度λ≒10nm
主显微镜升程:
工作台升程:
X 、丫方向移动范围: ~
仪器放大倍数 目视: 500×
摄象: 0.13×
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